Лаборатория спектроскопии поверхности полупроводников была организована в 1980 году профессором Витасом Антоновичем Гражулисом. Под его руководством впервые были развиты методы низкотемпературных сверхвысоковакуумных спектроскопических исследований. Были обнаружены новые эффекты в области низкотемпературной физики поверхности: ранее неизвестные структурные состояния поверхностей скола кристаллов германия при гелиевых температурах, новые структурные состояния, возникающие при низкотемпературной адсорбции монослоев серебра и меди на чистой поверхности полупроводников кремния, германия и А3В5. Изучены ранее неизвестные сверхструктурные состояния на поверхностях Nd-Ce-Cu-O, La-Sr-Cu-O, Bi-2212. До своей безвременной кончины в 1998 году профессор В.А.Гражулис вел огромную организационную работу, был членом редколлегии журнала «Поверхность», главным редактором журнала «Physics of Low-Dimensional Structures», председателем научного совета «Физика поверхности» при ООФА РАН и руководителем направления «Поверхностные атомные структуры» в рамках госпрограммы «Актуальные направления физики конденсированных сред» ГКНТ, представлял Россию в Международном союзе по вакуумным исследованиям и технике (IUVSTA).

В настоящее время лабораторию возглавляет д.ф.-м.н, член-корреспондент академии криптографии Сергей Николаевич Молотков. В лаборатории работают 12 сотрудников, занимающихся научными исследованиями в различных областях физики поверхности и низкоразмерных систем.